行業(yè)痛點(diǎn)與解決方案
半導(dǎo)體制造對微觀環(huán)境極為敏感，0.1℃溫度波動或10個微粒都可能造成百萬級損失
精準(zhǔn)氣流組織設(shè)計(jì)
采用垂直單向流（VFF）送風(fēng)方式，天花板滿布FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）+ULPA過濾器（過濾效率≥99.9995%），形成均勻向下氣流。風(fēng)速穩(wěn)定，無渦流。高架地板下回風(fēng)，確保污染物快速排出
溫濕度控制
采用MAU + FFU + DCC控制系統(tǒng)，由MAU調(diào)控濕度，DCC精準(zhǔn)控溫。將溫度波動需控制在±0.1℃內(nèi)，濕度偏差≤± 1%RH，濕度控制在45±5%RH。
防靜電控制
選用防靜電地板、防靜電彩鋼板/鋁塑板作為墻體和吊頂材料、電離風(fēng)機(jī)，同時將潔凈室相對濕度控制在45%±5%RH。強(qiáng)制穿戴防靜電裝備
AMC氣態(tài)污染物控制
高效化學(xué)過濾器去除酸性/堿性氣體、VOCs等氣態(tài)分子污染物。實(shí)時監(jiān)測AMC濃度，預(yù)警過濾器更換。
微振動電磁干擾
光刻機(jī)等設(shè)備要求振動速度≤1μm/s，采用彈性支撐結(jié)構(gòu)將振動傳遞系數(shù)降至0.1以下，為高精度設(shè)備提供穩(wěn)定環(huán)境。電磁屏蔽需采用銅網(wǎng)結(jié)構(gòu)，對10kHz-10GHz頻段衰減≥60dB。
節(jié)能與可靠性
半導(dǎo)體廠是能耗大戶，我們通過創(chuàng)新設(shè)計(jì)，優(yōu)化新風(fēng)量/換氣次數(shù)、采用高效風(fēng)機(jī)/水泵與變頻技術(shù)、熱回收技術(shù)、風(fēng)水聯(lián)動協(xié)調(diào)控制實(shí)現(xiàn)節(jié)能，同時保證運(yùn)行可靠性。
我們的優(yōu)勢
我們采用行業(yè)領(lǐng)先的技術(shù)方案，確保潔凈室性能超越國際標(biāo)準(zhǔn)
BIM設(shè)計(jì)
BIM設(shè)計(jì)，讓潔凈室施工‘零誤差’，成本‘看得見’
智能環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)
實(shí)時監(jiān)控，AI算法預(yù)測負(fù)荷變化，動態(tài)調(diào)整設(shè)備運(yùn)行
模塊化與集成化
實(shí)現(xiàn)靈活性、可擴(kuò)展性和易于維護(hù)
相關(guān)案例
我們已經(jīng)為多家知名半導(dǎo)體企業(yè)提供潔凈室解決方案
服務(wù)流程
01 需求分析
02 方案設(shè)計(jì)
03 施工建設(shè)
04 系統(tǒng)驗(yàn)證
05 運(yùn)維支持
獲取專屬解決方案
填寫以下信息，我們的技術(shù)專家將在24小時內(nèi)與您聯(lián)系
